توسعه یک میکروسکوپ میکرو فوتولومینسانس برای شناسایی میکروال ای دی های معیوب در فرآیند ساخت

نوع مقاله : علمی-پژوهشی

نویسنده

دانشگاه شیراز

چکیده

میکروسکوپ میکرو فوتولومینسانس با استفاده از لیزرهای تحریک موج پیوسته 405 نانومتر ساخته شده است. در این پژوهش از میکرو ال ای دی های آبی رنگ به عنوان هدف فوتولومینسانس استفاده شده است. این میکرو ال ای دی ها نور فوتولومینسانس را در طول موج 450 نانومتر ساطع می‌کنند. زمانی که چاه های کوانتومی میکرو ال ای دی ها به درستی کار نکنند، آنها نور فوتولومینسانس ساتع نمی‌کنند و در زیر میکروسکوپ میکروفوتولومینسانس تاریک به نظر می‌رسند. در این پژوهش همچنین نشان داده شده است که با استفاده از میکروسکوپ میکرو فوتولومینسانس می‌توان میکرو ال ای دی های خراب را بر روی ویفر و پیش از تست الکتریکی و در حین فرآیند ساخت تشخیص داد. شناسایی زودهنگام میکرو ال ای دی های خراب برای جلوگیری از ادامه تولید و کاهش زمان ساخت برای ال ای دی های معیوب می تواند منجر به کاهش هزینه تولید بشود. با استفاده از آنالیز داده ها همچنین نشان داده شده است که برخی عیوب پنهان موجود بر روی ال ای دی ها هم قابل مشاهده می باشد. این عیوب در حالت عادی ممکن است از چشم مسلح به همراه میکروسکوپ معمولی نیز پنهان بماند. کیفیت میکرو ال ای دی های هر ویفر نیز به کمک این روش قابل تشخیص و مقایسه می باشد. به عنوان مثال میکرو ال ای دی های بر روی یک تصویر مورد تحلیل قرار گرفتند و مقایسه شده اند.

کلیدواژه‌ها

موضوعات


عنوان مقاله [English]

Enhanced Fault Detection in MicroLEDs through Microphotoluminescence Microscope Construction

نویسنده [English]

  • Mohammad Hendijanifard
Shiraz university
چکیده [English]

The microphotoluminescence microscope is created by integrating 405 nm excitation lasers into an existing standard microscope. These lasers are used to stimulate the photoluminescence bands of blue microLEDs, which emit light at 450 nm. Any defective or shorted microLED quantum wells do not emit light and appear dark, allowing for their automatic recognition using image processing techniques. Early identification of defective microLEDs during wafer processing in the LED facility can help eliminate faulty wafers promptly, reducing manufacturing costs. Additionally, the microscope enables the comparison of microLED quality within wafer batches during quality assurance and the detection of major defects that may not be recognizable using regular microscopes.

کلیدواژه‌ها [English]

  • microphotoluminescence
  • blue microLEDs
  • Early recognition of faulty LEDs